光柵 也稱衍射光柵,。是利用多縫衍射原理使光發(fā)生色散(分解為光譜)的光學(xué)元件,。它是一塊刻有大量平行等寬,、等距狹縫(刻線)的平面玻璃或金屬片,。光柵的狹縫數(shù)量很大,一般每毫米幾十至幾千條
光柵測量原理
送線機構(gòu)上配置的測量光柵由標(biāo)尺光柵和指示光柵組成,。用厚度為0.06mm的不銹鋼片作為光柵材料,,通過特殊的工藝在不銹鋼片表面均勻地刻上100對/mm透光鏤空和不透光條紋,。
把指示光柵安裝在送線機構(gòu)上,而標(biāo)尺光柵固定于機架上,,而標(biāo)尺光柵固定于機架上,,并使二者之間保持0.03mm~0.06mm的間隙以避免摩擦,且在安裝時使二者的光柵紋線之間形成一個小夾角,,當(dāng)光線透過光柵時,,指示光柵紋時,指示光柵上就會產(chǎn)生若干條粗的明暗條紋,,這就是莫爾條紋,。當(dāng)指示光柵相對于標(biāo)尺光柵作左右移動時,莫爾條紋也在作上下移動,。莫爾條紋移動的方向近似地與光柵移動的方向垂直,。
莫爾條紋具有平均誤差和放大使用,而且光柵柵線和莫爾條紋之間具有數(shù)量和方向上的對慶關(guān)系,。利用光電傳感器得到與明暗條紋相對應(yīng)的周期性電壓信號,,再經(jīng)放大、變換整形即可得到計數(shù)脈沖,。由于脈沖數(shù)是表示指示光柵所移動的條紋數(shù),,所以,只要知道光柵柵距即可得出光柵所多動的實際距離,。
容柵測量系統(tǒng)的基本原理與特點:
容柵測量系統(tǒng)是一種無差調(diào)節(jié)的閉環(huán)控制系統(tǒng),,它的基本測量部分是一個差動電容器,它的作用是利用電容的電荷耦合方式將機械位移量轉(zhuǎn)變成為電信號的相應(yīng)變化量,,將該電信號送入電子電路后,,再經(jīng)過一系列變換和運算后顯示出機械位移量的大小。
由于容柵測量系統(tǒng)的原理及其結(jié)構(gòu)設(shè)計的先進性,,使其具有許多突出優(yōu)點:
1.由于傳感器采用等節(jié)距的柵型結(jié)構(gòu),,使測量的精度不直接與長度有關(guān),,故非常適宜于大位移測量。
2.測量速度快,。分辨率為0.001mm時,,測量速度可達0.35m/s;分辨率為0.01mm時,測量速度可達 1.5m/s,。分辨率為0.001mm的光柵和感應(yīng)同步器數(shù)顯測量裝置,,測量速度一般應(yīng)在0.2m/s左右。其它可測大位移的傳感器在測量速度上也很少能達到容柵類傳感器的水平,。
3.傳感器的結(jié)構(gòu)簡單,,易于與集成電路制成一體,易進行機械設(shè)計,。傳感器機械部分主要由兩組極板組成,,結(jié)構(gòu)小巧,使得測量系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)簡單,,成本低廉,。這一優(yōu)點也是其它類型的位移測量系統(tǒng)所不能比擬的。
4.對使用環(huán)境要求不高,。能抗電,、磁場的干擾;采用適當(dāng)?shù)姆雷o措施后,,能防油污,、防塵,對空氣濕度不敏感,,適合于在車間生產(chǎn)現(xiàn)場使用,。這也是容柵測量系統(tǒng)的一個很突出的優(yōu)勢。
5.能耗少,。這是由于傳感器本身的介質(zhì)損耗和靜電引力都很小的緣故,。電路采用大規(guī)模的CMOS集成電路,使電路能在底工耗下工作,。一顆扣式氧化銀電磁就可使其連續(xù)工作一年時間,。這一優(yōu)點使得在通用精密量具上實現(xiàn)數(shù)顯,并使之成為具有很大發(fā)展前途的產(chǎn)品,。
6.功能多,,運用方便。容柵測量系統(tǒng)的電子線路經(jīng)過幾度改進,,使其系統(tǒng)逐漸完善,現(xiàn)在的電路具有任意點置零,,公英制轉(zhuǎn)換,、值保持,、最大值最小值尋找,數(shù)值予值,,測量速度過快及電磁電壓過低報警等功能,,使測量系統(tǒng)的運用方便,確保測量數(shù)據(jù)的正確性,。
7.串行碼數(shù)據(jù)輸出,,可供計算機進行相應(yīng)要求的處理以及打印機進行數(shù)據(jù)記錄。這對產(chǎn)品質(zhì)量控制提供了便利條件,。
光柵 也稱衍射光柵,。是利用多縫衍射原理使光發(fā)生色散(分解為光譜)的光學(xué)元件。它是一塊刻有大量平行等寬,、等距狹縫(刻線)的平面玻璃或金屬片,。光柵的狹縫數(shù)量很大,一般每毫米幾十至幾千條